青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司,建于1993年)位于青岛空港工业园,紧邻青岛流亭国际航空港。占地约15000平方米,建筑面积约21000平方米。
华旗科技为专业的半导体材料、IC器件工艺、新材料工艺(成套)设备及解决方案的高科技研发制造企业。服务于新能源、新材料及环境保护产业。致力于为IC器件、太阳能电池、LED照明、新材料等制造厂家及科研院所提供先进的工艺设备(含成套设备及解决方案)。工艺(成套)设备包括薄膜、外延、晶体生长、精密真空热处理、配气系统及废气处理等。
核心工艺设备为薄膜工艺:LPCVD、PECVD...